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金融界2025年3月26日消息，国家知识产权局信息显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司申请一项名为“用于扫描硅片的扫描电子显微镜的故障诊断方法和装置”的专利，公开号CN 119672712 A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本发明提供了一种用于扫描硅片的扫描电子显微镜的故障诊断方法和装置，涉及半导体技术领域，所述用于扫描硅片的扫描电子显微镜的故障诊断方法包括：获取在线SEM进行硅片检测时的实时运行相关数据，将实时运行相关数据输入训练好的故障诊断模型，故障诊断模型是利用在线SEM对的历史运行相关数据、历史运行相关数据的历史故障特征信息和历史故障特征信息对应的历史修复策略进行训练得到的，获取故障诊断模型输出的在线SEM的实时故障特征信息以及针对实时故障特征信息的实时修复策略，利用实时修复策略对在线SEM进行在线修复，得到修复后的在线SEM。本发明能够减少在线SEM设备的故障诊断和排除的耗费时长，提高硅片的检测效率。

天眼查资料显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司，成立于2016年，位于西安市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本350000万人民币，实缴资本350000万人民币。通过天眼查大数据分析，西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目3次，专利信息1225条，此外企业还拥有行政许可24个。